FESTO：压电阀

2015-08-12

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FESTO：压电阀

NEPCON South China 2015 展位号：A-1K40

压电阀是传统电磁阀的完美替代者，尤其是在需要对流量和压力进行精确控制的应用场合，可进行直接比例控制。压电阀特性包括：体积小、重量轻、精度高、耐用性强、无发热、本安防爆、动作频率快、节能等。这些特性可以保证压电阀能完美应用于半导体行业，如前端的涂层工艺以及后端粘结工艺。晶片清洗，晶片抛光操作，引脚防氧化装置流量控制都可以用压电阀完美实现。