4800 Integra™ 全自动晶圆焊接强度测试仪 4800 Integra™ Nordson DAGE的4800 Integra™ 为全自动晶圆焊接强度测试提供完整的解决方案。整个系统由工厂配置并由一台PC控制。 *几乎无需操作员介入测试 该系统完全由Paragon 软件进行控制，经过编程后，无需操作员介入即可自动执行测试的所有部分。 *全面的SECS/GEM集成 系统直接连接到网络以允许全面的的SECS/GEM操作。当与FOUP加载系统结合使用时，测试、分析和结果可以完全自动化。 *与无尘室兼容 可选风扇过滤装置和前门可加入离子去除装置，实现无尘室操作。 *自动晶圆矫正器 晶圆矫正器确保在测试之前可将翘曲的晶圆自动夹紧到真空吸盘上。 *风扇过滤器 4800 Integra可安装风扇过滤器和封闭门。这样可以保持系统内部的正压力，并将碎屑排出测试区域。 *互锁选件 可以安装光幕或互锁门，以保护操作者免受测试区域的伤害。系统将在光幕或互锁门被损坏或被打开 时暂停当前的测试，并在障碍物消除后重新启动。 *CCD摄像头监控 可选的CCD摄像头可以安装在晶圆处理机上，也可以安装在4800 Integra内部。允许对测试过程进行监控和记录。