近年来，产学研的模式不断发展，尤其是科技行业，学校的教育体系、人才资源和科研平台等优势，吸引很多企业和产业平台与其展开合作，坪山的深圳技术大学依托于坪山的优质半导体产业资源和学校人才优势，成为当前非常炙手可热的产学研示范基地。它们在关键科学技术联合攻关、科技创新平台建设、科技成果转化应用、人才培养培训等方面取得了显著成果。

10月15日，第二届湾区半导体产业生态博览会（“湾芯展”2025）在深圳盛大开幕。作为深圳的硅基半导体集聚区，坪山区22家半导体企业集体亮相，其中深圳技术大学半导体微纳中心平台吸引了众多的客户及合作伙伴前往参观。

在深圳技术大学集成电路与光电芯片学院，一批集成电路、硅光领域的科研界、产业界精英荟萃，院长宁存政和教授们正全力谋划产业研究院的建设工作。

据介绍，宁存政是白光激光发明人，在筹建清华大学国际纳米光电子学研究中心后，南下深圳，来到坪山，只为建设中国院校最好的微纳加工中心。他是深圳技术大学讲席教授，曾任美国NASA研究中心资深科学家，纳米项目主管，清华大学教授、美国亚利桑那州立大学教授、中组部“千人专家”。

宁教授长期从事纳米光子学及半导体光电子学物理及器件方面的理论及实验方面的研究工作，致力于在硅基底上实现光电子的高效集成，是国际上公认的纳米半导体激光领域开拓者之一，并在纳米光电子学方面取得多项国际第一。美国国家发明家科学院成员、IEEE Fellow、OSA Fellow、The Electromagnetic Academy Fellow。

他历经4年，成功打造深圳技术大学半导体微纳加工平台，并将于今年投入使用。

“深技大半导体微纳加工平台可为企业提供化合物光电芯片、硅基MEMS芯片领域流片服务，研发可做到8nm，小批量代工可实现0.35μm。”宁教授说道。

人才培养方面，深圳技术大学也是非常有心得！此前，坪山区人民政府、深圳技术大学、深圳市投资控股有限公司签署深化战略合作协议，启动环大学产业科技创新带建设，持续拓展产学研辐射圈层。随之，集成电路与光电芯片学院联手产业界合办的“龙芯英才班”将持续升级，全力培养复合型创新人才。

对于创建这个平台的意义，他说道，深圳技术大学微纳工艺平台借鉴国内外先进平台经验，建设高水平微纳工艺平台，设立专用产业化区，强化服务企业产品研发功能、教学培训、科研支撑、产业服务有机结合，规模适中，总投资3.4亿元，建设洁净室2100m2，设备100余台套。一是洁净室设计采用专业性和灵活性相结合的思路，同时满足高校教学科研，以及产业支撑服务的需求，二是工艺设备3亿元人民币，涵盖原型研发线、小量试产线、教学和培训线等，三是以工艺平台为核心，吸引工艺技术专家和相关企业，紧跟政府产业规划，围绕新技术开发，开展全方位、立体的合作模式。               

为了构建“产-学-研-政”一体化公共技术服务平台，服务地方产业、原型器件工艺研发、小量试产工艺、国产材料及装备工艺验证平台、企业人才微纳加工、光电芯片、MEMS、集成电路芯片设计等技术培训基地等。，还可以作为行业专利及标准化工作信息平台，并进行光电芯片产业共性技术研究。

宁教授介绍道，材料微纳制造技术中心主要围绕材料微纳制造技术、集成微电子机械系统、微纳技术与加工教学为核心建设。按功能主要分为黄光区（百级）、湿法化学区、扩散退火区、干法刻蚀区、镀膜区、工艺测试区、器件封装与测试区，建成后的技术中心以国产设备为主（光刻机/无掩膜光刻机为进口），集金刚石生长、薄膜沉积、太阳能光伏、光刻、刻蚀、扩散、退火、测试、LED封装等工艺段进行科研与教学工作，能够最大情况对接半导体企业的流程，该工艺线正式投入使用后，可用于进行：

(1)生长金刚石薄膜；

(2)微纳尺度先进电子器件开发研究，包括pn结、二极管、MOS等器件;

(3)各类传感器和MEMS加工;

(4)第三代半导体功率器件研发；

(5)微纳加工工艺实践教学。

该平台的目的是为了提供全方位的技术支持，以促进微纳加工技术进步，降低使用者的技术研发成本。

据悉，半导体微纳加⼯中⼼拥有超2000平⽅⽶的超净室，⼯艺线主要设备超过120台(套)，具备专业技术过硬的研发、⼯艺和设备⼯程师团队。

据介绍，该微纳加⼯中⼼拥有化合物光电器件的全套⼯艺加⼯能⼒，如GaAs和InP基VCSEL、DFB等，兼具部分第三代半导体（如GaN、SiC）和硅基MEMS器件加⼯能⼒。微纳加⼯中⼼⽀持最⼩到8nm制程的⼯艺研发，以及350nm及以上制程的化合物光电器件中试验证。

据悉，平台设⽴专⽤产业化区和拓展区，强化服务企业产品研发和⼩量试产功能，以及国产半导体材料及装备验证。拥有光刻工艺设备和键合工艺设备，薄膜工艺设备，离子注入/退火设备和干法刻蚀工艺设备，湿法刻蚀工艺和后道工艺设备，测量表征设备，外延工艺设备，微纳加工中心工艺模块等。

当前，坪山区以中芯国际、鹏新旭等龙头企业为牵引，汇聚了富满微、安培龙等200家优质企业，芯片制造产值占全市60%以上，半导体与集成电路产业集群产值连续三年保持两位数增长，2024年芯片制造产值突破百亿。

如今，深圳技术大学半导体微纳中心平台的成立，对于坪山集成电路产业而言，是非常优秀的产业服务平台，为企业、大学、创业团队、技术人员和学校等提供良好的芯片技术研究与服务，未来的作用和价值必将不断放大，助力深圳的半导体产业发展和壮大。

【本文转自公众号半导体芯情，转载仅供学习交流。】